半導(dǎo)體工業(yè)
半導(dǎo)體行業(yè)
在許多的高純度領(lǐng)域RHEOTHERM流量計(jì)也是一個(gè)實(shí)際的選擇。
氣體流量
RHEOTHERM流量計(jì)的TU傳感器具有一種獨(dú)特的設(shè)計(jì)，流量測量管是一段不能滲透的管材。這種設(shè)計(jì)也可以選用電解拋光超純管件作為測量管材質(zhì)。作為一種選項(xiàng)，VCR管件也可以采用軌道對焊而形成流量測量管，傳感器可以直接地焊到管路中。在工廠標(biāo)定后，傳感器可以在100級清潔屋進(jìn)行清洗處理。
在一個(gè)系統(tǒng)對氣體的測量，或內(nèi)部貿(mào)易的結(jié)算，諸如，氬氣、氧氣、甲烷、氫氣及氦氣都在用這種設(shè)計(jì)進(jìn)行測量，流速可以是一個(gè)SCFM (標(biāo)準(zhǔn)立方英尺/分鐘)的零點(diǎn)幾。如果有需要，流量計(jì)可以是本質(zhì)安全防爆，可以用在CLASS I的所有區(qū)域。
RHEOTHERM的優(yōu)勢：電解拋光接液表面，高純度清潔，具有本安防爆選項(xiàng)。
空氣/氮?dú)饬髁繙y量
有些公司在氮?dú)夤芫€中使用RHEOTHERM流量計(jì)以便工廠內(nèi)的不同區(qū)域使用氮?dú)獾牧慷嫉玫搅藱z測。這些較大的分配管線需要用插入式的探頭，用螺紋接頭安裝。RHEOTHERM流量計(jì)之所以被選用是因其可以提供一種可靠的質(zhì)量或標(biāo)準(zhǔn)體積的流量輸出，而不需要任何外部的壓力或溫度補(bǔ)償。
RHEOTHERM流量計(jì)的優(yōu)勢：容易的安裝，質(zhì)量流量輸出，不需外部信號修正。
拋光液的流量測量
RHEOTHERM流量計(jì)被一個(gè)半導(dǎo)體公司用做一種工具測量拋光液的
流速。在標(biāo)定的3-30ml/min的流量范圍內(nèi)，流量計(jì)提供精確的拋光液測量，還可能是一種低流速的繼電器信號用于指示流速減少到非常低的水平。為了保持純度的標(biāo)準(zhǔn)，客戶要求采用電解拋光高純度管作為流量測量管。
RHEOTHERM流量計(jì)的優(yōu)勢：對低流速的敏感性，電解拋光管，較低的維護(hù)。
